- Waferbelichtungsanlage
- plokštelės fotolitografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer printer vok. Waferbelichtungsanlage, f rus. установка фотолитографии по всему полю пластины, f pranc. installation de photolithographie de la tranche, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.